调制周期对Cr/CrN纳米多层膜的微观结构与性能的影响
论文采用多弧离子镀技术在活塞环表面制备了不同调制周期的Cr/CrN纳米多层膜。采用X射线衍射(XRD)、透射电子显微镜(TEM)、俄歇能谱仪(AES)、纳米硬度仪和CETR摩擦磨损试验机,系统分析了不同调制周期Cr/CrN纳米多层膜的微观结构、成分分布、纳米硬度和抗滑动磨损性能.结果表明:Cr/CrN多层膜由CrN、Cr2N和Cr相组成,在CrN(200)方向上出现择优取向,薄膜的调制结构为Cr层-过渡层-CrN层的“三明治”结构。随调制周期的减小,多层膜的硬度和残余应力增大,当调制周期为80nm时,多层膜的硬度值达到最高为21·5GPa。当调制周期为120nm时,H3/E2值达到最高,此时划痕临界载荷值最高。
纳米多层膜 微观结构 力学性能 调制周期
蔡志海 底月兰 张平
装甲兵工程学院,装备再制造技术国防科技重点实验室 北京 100072
国内会议
秦皇岛
中文
89-92
2010-08-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）