基于MEMS的激光铯磁场传感实验系统设计

摘要：

目前芯片级的磁场传感器越来越受到关注。本文设计一种基于MEMS的激光铯磁力传感系统,即将系统垂直地叠加在一个硅芯片上,用垂直腔表面发射激光器泵浦一个玻璃和硅基之间的铯吸收室,如外界有磁场,即便是非常微弱,这些原子的阵列也会发生变化,通过光泵磁共振即可探测磁场的信息。文中给出了MEMS铯激光磁力传感系统的理论分析和系统设计,对粒子数的跃迁过程进行了计算和研究。相信芯片级的磁场传感器将具有广泛的应用前景。

关键词： 光泵磁共振 微电子机械系统 微弱磁场 激光铯磁场传感实验 系统设计 跃迁过程

作者: 张杨 康崇 王庆涛 成雷 郑彩平 杨月芳

作者单位: 哈尔滨工程大学理学院,黑龙江 哈尔滨 150001

会议类型: 国内会议

会议名称: 第六届全国高等学校物理实验教学研讨会

会议地点: 西安

会议语种:中文

页码: 288-292

在线出版日期: 2010-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）