MEMS技术在集成加热功能的双模块湿度传感器中应用研究

摘要：

在需要温湿度变化剧烈的环境中,湿度准确测量的最佳方案是采用单片集成的具有除湿功能的湿度传感器,本文采用MEMS(Micro-electm-mechanical system)技术,研制出集成加热元件的双模块湿度传感器,可以实现湿度测量中交替加热除湿和交替测试功能,具有测试响应时间短、除湿功耗低、响应快速的特点。

关键词： 集成加热功能 湿度传感器 湿度准确测量 单片集成 除湿功能

作者: 金建东 郑丽 王震

作者单位: 中国电子科技集团公司第四十九研究所芯片与微系统工程中心,黑龙江 哈尔滨 150001

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届中国湿度与水分学术交流会、第十一届中国气湿敏传感技术学术交流会、2010年国防科技工业热工流量技术交流会

会议地点: 苏州

会议语种:中文

页码: 26-28

在线出版日期: 2010-07-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）