介孔SBA-15担载LiCl的湿敏特性及敏感机理分析

摘要：

传统上利用LiCl制作的湿度传感器只能在一段湿度的范围内进行湿度的测量,并且由于LiCl易水解的性质,经过一段时间的使用后,LiCl容易流失而使元件失效。实验中将LiCl材料担载到SBA-15分子筛中来改善材料的湿敏特性,并对材料分别进行了IR和SEM表征分析。利用该系列材料制作并获得了全湿度范围内特性良好的电阻型湿敏元件。通过不同比例的LiCl的掺杂,选择出掺杂量为15％wt LiCl的样品最适宜制备湿敏元件。实验测试得到了元件在不同湿度下的复阻抗谱图,通过对复阻抗谱图以及材料结构的研究,分析了基于该材料的湿敏元件在不同相对湿度下的导电机理。

关键词： 氯化锂 湿敏特性 湿度传感器 湿度测量 敏感机理 导电机理

作者: 娄正 刘向威 王蕊 贺媛 张彤

作者单位: 集成光电子学国家重点联合实验室 吉林大学实验区,吉林大学 电子科学与工程学院,吉林 长春 130012

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届中国湿度与水分学术交流会、第十一届中国气湿敏传感技术学术交流会、2010年国防科技工业热工流量技术交流会

会议地点: 苏州

会议语种:中文

页码: 35-38

在线出版日期: 2010-07-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）