近室温紫外光增感SnO2-ZnO薄膜型乙醇传感器的研究

摘要：

结合溶胶凝胶法和旋涂法制备SnO2-ZnO薄膜,对制备的薄膜进行SEM表征。通过紫外光照射,提高敏感体的表面催化活性,进而提高在近室温下的灵敏度。紫外光增感效果随着ZnO和SnO2的质量比而变化,试验结果表明,ZnO和SnO2质量比为1∶9时紫外光增感效果最佳,而且对乙醇具有较好的选择性。

关键词： 气体传感器 近室温工作 紫外光增感 氧化物薄膜 溶胶凝胶法 旋涂法

作者: 许婧 于英硕 张轶群 孙鉴波 刘凤敏 卢革宇

作者单位: 吉林大学电子科学与工程学院,吉林 长春 130012

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届中国湿度与水分学术交流会、第十一届中国气湿敏传感技术学术交流会、2010年国防科技工业热工流量技术交流会

会议地点: 苏州

会议语种:中文

页码: 142-144

在线出版日期: 2010-07-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）