利用MEMS技术的乙炔传感器研究

摘要：

利用MEMS技术将化学生长的Al2O3模板加工成传感器的微悬梁结构,并将其应用于催化燃烧式气体传感器的基底。采用平面薄膜工艺制作出铂薄膜电阻器,涂敷Al2O3-SnO2-TiO2-Pd和Al2O3-SnO2-TiO2-Pt,形成催化敏感桥臂和温湿度补偿桥臂,从而制作出乙炔传感器。测试结果表明:传感器可实现乙炔浓度为0～15000×10-6的检测,具有线性输出特性,同时对乙炔传感器的长期稳定性进行了研究。

关键词： 微悬梁 催化燃烧 乙炔传感器 线性输出特性 化学生长

作者: 祁欣 周明军 张洪泉

作者单位: 中国电子科技集团公司第四十九研究所,黑龙江 哈尔滨 150001

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届中国湿度与水分学术交流会、第十一届中国气湿敏传感技术学术交流会、2010年国防科技工业热工流量技术交流会

会议地点: 苏州

会议语种:中文

页码: 146-147

在线出版日期: 2010-07-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）