基于ANSYS的电容位移传感器设计

摘要：

本文建立了单片式电容位移传感器的三维仿真数学模型,运用ANSYS软件对不同参数的传感器进行了仿真,比较分析了电极间距、电极长宽比、被测物距离等对传感器灵敏度的影响,为单片式电容位移传感器的结构设计提供了依据。

关键词： 位移传感器 传感器设计 单片电容 电极间距

作者: 李晓钰 陈向东 李辉 姚尧 杜广涛

作者单位: 西南交通大学信息科学与技术学院,成都 610031

会议类型: 国内会议

会议名称: 四川省电子学会2009年学术年会

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 183-184

在线出版日期: 2009-09-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）