两步湿氧法制备硅微尖阵列工艺研究
本文阐述了硅微尖阵列的制备工艺。实验以直径4英寸的n型(100)晶向的硅片为基片,首先在硅片表面氧化生成一层厚度为250nm的二氧化硅掩蔽层,利用接近式光刻及反应离子刻蚀(RIE)得到边长为4um,间距为6um的硅柱。利用两步湿氧法对硅柱进行氧化削尖,最终得到尖锥曲率半径约为450nm的硅微尖阵列。
半导体器件 硅锥尖阵列 氧化削尖 刻蚀工艺
陈艳 吴孟强 张树人
电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室 成都 610054
国内会议
成都
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2009-09-24(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)