基于微悬臂梁的传感技术研究

摘要：

本文对基于微悬臂梁的传感技术从四方面展开讨论，分别介绍了微悬臂梁的制造工艺，修饰技术，激励、检测和控制技术，以及与其它电路的工艺集成技术。微悬臂梁在液体中，工作在动态模式时，品质因数的提高问题一直是国内外研究的焦点。本文的重点便是介绍国际上最新出现的两种品质因子控制技术，一种是对微悬臂梁的材料进行了改进，使其在水溶液的品质因数达到40，另一种是把液体环境转移到悬臂梁内部，使其在水溶液中的品质因数达到700。

关键词： 微悬臂梁 传感技术 品质因数 制造工艺 修饰技术 控制技术

作者: 张奇 任权 靳鹏云 韩立

作者单位: 中国科学院电工研究所 北京 100190 中国科学院研究生院 北京 100049 中国科学院电工研究所 北京 100190

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国科学仪器自主创新及应用技术研讨会

会议地点: 武汉

会议语种:中文

页码: 180-183

在线出版日期: 2010-03-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）