基于ANSYS的电容位移传感器设计

摘要：

建立了单片式电容位移传感器的三维仿真数学模型，运用FEA软件对不同参数的传感器进行了仿真，比较分析了电极间距、电极长宽比、被测物距离等对传感器灵敏度的影响，结果表明，测量系统的灵敏度与电极宽度和电极长度间隙比近似成正比，和被测物距离近似成反比。本研究对电容位移传感器的结构设计有指导意义。为单片式电容位移传感器的结构设计提供了依据。

关键词： 单片电容位移传感器 三维仿真 结构设计 电极间距 电极长宽比 被测物距离

作者: 李晓钰 陈向东 李辉 姚尧 杜广涛

作者单位: 西南交通大学 信息科学与技术学院，成都 610031

会议类型: 国内会议

会议名称: 2009四川省电子学会半导体与集成技术专委会学术年会

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 140-142

在线出版日期: 2009-11-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）