GaAs光电阴极智能激活技术研究

摘要：

研制了一套基于计算机控制的GaAs光电阴极智能激活测试系统，该系统可在计算机控制下严格按照标准工艺对GaAs光电阴极进行智能激活，并可在线测量阴极的光谱响应曲线。利用该系统分别进行了智能激活和人工激活实验，采集了激活过程中的光电流变化曲线，分析发现，和智能激活过程相比，由于人工激活过程出现了误操作，相邻光电流峰值间的差值下降很快，Cs、O交替的次数也较少。人工激活过程中Cs、O交替6次，光电流最大值为43μA，激活后GaAs光电阴极的积分灵敏度为796μA/lm。智能激活过程中Cs、O交替9次，光电流最大值为65μA，激活后CaAs光电阴极的积分灵敏度为1100μA/lm。

关键词： GaAs光电阴极 智能激活 光电流变化曲线 光谱响应 测试系统

作者: 杨智 牛军 钱芸生 常本康 石峰 张益军 乔建良 熊雅娟 高频

作者单位: 南京理工大学电子工程与光电技术学院,南京 210094 南京理工大学电子工程与光电技术学院,南京 210094 西安应用光学研究所 微光夜视技术国防科技重点实验室,西安 710065 南京理工大学电子工程与光电技术学院 南京 210094

会议类型: 国内会议

会议名称: 2009年江苏省“光科学与技术”博士生学术论坛

会议地点: 南京

会议语种:中文

页码: 177-181

在线出版日期: 2009-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）