两次测量消除干涉仪参考面非旋转对称误差

摘要：

提出了一种测量干涉仪参考镜非旋转对称面形误差的方法。测量波面用36项Zemike多项式来表示，利用Zemike多项式形式的旋转不变性，求解出参考面非旋转对称误差的Zernike多项式系数。测得了Zygo干涉仪参考镜不同装夹应力下的非旋转对称面形误差分布。比对了本文方法和N次相对旋转测量法对同一参考面的测量结果，符合较好。分析了测量误差。该方法仅需两次测量，可有效消除干涉仪标准面低频非旋转对称面形误差。

关键词： 干涉仪 非旋转对称面形 测量误差 装夹应力 Zernike多项式系数

作者: 徐晨 陈磊

作者单位: 南京理工大学电子工程与光电技术学院,南京 210094

会议类型: 国内会议

会议名称: 2009年江苏省“光科学与技术”博士生学术论坛

会议地点: 南京

会议语种:中文

页码: 219-222

在线出版日期: 2009-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）