锆钒合金膜制备工艺研究

摘要：

采用双电子枪蒸发法制备出锆钒二元合金膜,系统地研究了膜厚控制仪Ratio Control参数、沉积温度和退火温度等关键参数对合金膜成分和物相的影响规律。研究结果表明,通过设定Ratio Control参数可以任意调制合金膜中Zr、V元素比例,实现膜中成分的深度分布均匀;通过调整沉积温度,可以获得非晶或共晶等不同组织结构的膜物相;退火温度对合金膜物相有影响,但膜中非晶相仍处于主导地位,退火后的膜可以作为实际应用。

关键词： 双电子枪蒸发法 锆钒合金膜 Ratio Control参数 退火温度 膜厚控制仪

作者: 郝万立 赵北君 刘锦华 彭述明 龙兴贵

作者单位: 四川大学 材料科学系，四川 成都 610064 中国工程物理研究院 核物理与化学研究所，四川 绵阳 621900 四川大学 材料科学系，四川 成都 610064 中国工程物理研究院 核物理与化学研究所，四川 绵阳 621900

会议类型: 国内会议

会议名称: 2009全国功能材料科技与产业高层论坛

会议地点: 江苏镇江

会议语种:中文

页码: 571-573

在线出版日期: 2009-11-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）