多晶硅副产物四氯化硅的低耗能回收技术研究

摘要：

介绍了多晶硅生产过程中的副产物四氯化硅的高效低耗能综合回收利用方法。探讨了四氯化硅的先进回收技术的研究应用进展,包括四氯化硅有机硅转化、白炭黑转变、对四氯化硅的提纯和光导纤维应用,以及热氢法还原为三氯氢硅和电解还原四氯化硅。对各种转化途径的技术关键作了相关的对比分析。重点提出了低压低温电解还原四氯化硅和纳米多晶硅的先进制备技术。

关键词： 四氯化硅 多晶硅 电解还原 低耗能回收 光导纤维 热氢法还原

作者: 郭劲言 刘雯 马秋平 孟庆森 杨国鑫

作者单位: 太原理工大学 材料学院，山西 太原 030024 太原理工大学 材料学院，山西 太原 030024 太原科技大学 化学与生物工程学院，山西 太原 030024 山西潞安高纯硅业科技有限公司，山西 长治 046204

会议类型: 国内会议

会议名称: 2009全国功能材料科技与产业高层论坛

会议地点: 江苏镇江

会议语种:中文

页码: 735-737

在线出版日期: 2009-11-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）