飞秒激光加工光学器件研究进展

摘要：

飞秒激光加工光学器件具有加工工艺简单、方法灵活、精度高以及能够实现三维微加工等优点,已成为光学器件先进加工技术的研究热点之一。回顾了飞秒激光与物质相互作用机理的研究进展,包括介质对激光的非线性吸收和材料折射率变化机理;介绍了当前用于光学器件加工的飞秒激光系统及纵向扫描和横向扫描两种加工模式,并分析其优缺点;详细阐述了飞秒激光加工各种光学器件所取得的成果。

关键词： 飞秒激光 光学器件加工 非线性吸收 材料折射率

作者: 孙小燕 胡友旺 段吉安

作者单位: 中南大学 机电工程学院，湖南 长沙 410083 中南大学 现代复杂装备设计与极端制造教育部重点实验室，湖南 长沙 410083

会议类型: 国内会议

会议名称: 2009全国功能材料科技与产业高层论坛

会议地点: 江苏镇江

会议语种:中文

页码: 752-755

在线出版日期: 2009-11-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）