不锈钢表面电泳沉积钛酸钡薄膜工艺研究
对不锈钢基体上电泳沉积钛酸钡薄膜的工艺及其影响因素进行了研究。采用场发射扫描电镜、Zeta电位仪与金相显微镜、扫描电镜分别对钛酸钡颗粒与热处理前后的钛酸钡薄膜进行测试与观察,并通过钛酸钡薄膜的表面形貌和单位时间的沉积质量,获得了优化的电泳沉积工艺参数。结果表明,钛酸钡的颗粒度主要分布在100～400nm,且集中于200nm左右;经过2h、1150℃热处理后的钛酸钡薄膜比较致密、平整,1150℃热处理的电泳沉积钛酸钡薄膜在100Hz与100kHz,室温下的介电常数分别约为5491和65。
电泳沉积工艺 钛酸钡薄膜 不锈钢基体 表面形貌 热处理 介电常数
郭强 吴昊 刘建华 李松梅 于美
北京航空航天大学 材料科学与工程学院,北京 100191
国内会议
江苏镇江
中文
92-95
2009-11-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）