微波烧结高密度ITO靶材

摘要：

通过XRD和SEM等手段研究了微波条件下气氛和温度对ITO靶材密度的影响。结果表明，与常规烧结方法相比，微波烧结能降低ITO靶材的烧结温度，大幅度缩短ITO靶材的烧结周期;在纯氧气氛下，1500℃微波烧结的ITO靶材相对密度达到99.2％，ITO靶材经过微波烧结后，组织均匀无气孔，不存在第二相，晶粒尺寸大致为3～4μm。

关键词： 微波烧结 晶粒尺寸 烧结温度 靶材密度

作者: 杨军 彭虎 夏广斌

作者单位: 隆泰微波热工有限公司，长沙 410013

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十四届全国微波能应用学术会议暨2009年微波创造美的生活高峰论坛

会议地点: 广东顺德

会议语种:中文

页码: 12-14

在线出版日期: 2009-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）