类金刚石涂层微型钻头的制备研究

摘要：

通过在微型硬质合金钻头上分别施加W、WC、Ti和TiN等4种单层过渡层，在自制射频辉光等离子体装置上沉积了类金刚石(DLC)涂层。运用激光拉曼光谱仪和扫描电子显微镜对各道工序前后钻头的表面形貌和类金刚石涂层的质量进行了表征，同时在玻璃材料上进行了手动钻孔测试。实验结果表明，镀有Ti过渡层的钻头在玻璃板上钻13个孔后才出现膜剥落的情况，说明施加Ti过渡层能更好地提高DLC膜与基底之间的附着力，从而延长钻头的使用寿命。

关键词： 射频辉光等离子体 硬质合金钻头 附着力 类金刚石涂层

作者: 李远 汪建华 谢鹏 熊礼威 刘长林

作者单位: 武汉工程大学材料与工程学院 湖北省等离子体化学与新材料重点实验室，武汉 430073

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十四届全国微波能应用学术会议暨2009年微波创造美的生活高峰论坛

会议地点: 广东顺德

会议语种:中文

页码: 19-21，24

在线出版日期: 2009-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）