准光学微波等离子体谐振腔的计算机模拟

摘要：

微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)是制备高纯度金刚石薄膜的一种重要手段。对MPCVD装置的仿真与优化，可节约其设计和改进的时间。结合准光学理论提出了半球形微波等离子体谐振腔，通过高频结构仿真器HFSS计算电场强度分布，并与已有的椭球形微波等离子体谐振腔比较，发现这种新型的谐振腔有望用于制备大面积、高质量的金刚石薄膜。

关键词： 金刚石薄膜 微波等离子谐振腔 化学气相沉积 结构仿真 计算机模拟

作者: 汪仁波 曾葆青 戴曜泽

作者单位: 电子科技大学物理电子学院，成都 610054

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十四届全国微波能应用学术会议暨2009年微波创造美的生活高峰论坛

会议地点: 广东顺德

会议语种:中文

页码: 120-122

在线出版日期: 2009-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）