一种新型微波等离子体七角腔的仿真与优化设计

摘要：

拥有特殊性能的新型微波等离子体设备在微波领域逐渐凸显出重要的工业价值。在改变七角腔边长和端头长度的情况下，利用电磁波仿真软件HFSS对一种新型微波等离子体七角腔内的电场分布进行了仿真和优化设计。研究表明，在技术参数最优时，负载区域电场最强且分布最均匀，功率密度最大，激发出了高强度等离子体，获得了预期的高温，满足了相应工程的需要。

关键词： 微波等离子体 电磁波 电场分布 七角腔 仿真设计

作者: 李承跃 刘国 顾爱军 季天仁

作者单位: 电子科技大学物理电子学院，成都 610054

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十四届全国微波能应用学术会议暨2009年微波创造美的生活高峰论坛

会议地点: 广东顺德

会议语种:中文

页码: 123-125

在线出版日期: 2009-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）