AFM探针重定位系统H∞控制器设计与分析

摘要：

分析了纳米重定位系统的常用重定位技术，建立了探针悬臂偏移量模型，探针针尖偏差前馈补偿和压电陶瓷H∞控制的模型。通过对其标准化，求出控制器K，并对其合理性进行分析。最后，进行计算机仿真，结果表明，所设计的系统具有良好的跟踪、重定位能力。

关键词： AFM探针 重定位系统 控制器 压电陶瓷 计算机仿真

作者: 孙鑫 费敏锐 程传东

作者单位: 上海大学机电工程与自动化学院，上海 200072

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国系统仿真学会成立20周年大会暨学术年会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 46-48

在线出版日期: 2009-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）