平衡式干涉仪的光学系统设计

摘要：

介绍了两种平衡式干涉仪的光学系统设计方法。分别给出了用于单端测量和双端测量的具体设计方案。由于采用的平衡式光学系统中测量光束和参考光束具有近似相等的光程长度和相似的路径,其光程差仅由被测件的长度或被测表面与测量参考镜之间的距离而引起,因此干涉仪具有很高的稳定性。用双端测量双光程平衡式干涉仪对准零长度试样进行测量,在185 h测量中所得数据的标准偏差为2.1nm。

关键词： 光学系统设计 微位移测量 平衡式干涉仪 双端测量

作者: 任冬梅 K M Lawton J A Miller 朱振宇 万宇

作者单位: 北京长城计量测试技术研究所,北京 100095 University of North Carolina at Charlotte,Charlotte,NC 28213,USA University of North Carolina at Charlotte,Charlotte,NC28213,USA

会议类型: 国内会议

会议名称: 2009年全国几何量精密测量技术学术交流会

会议地点: 杭州

会议语种:中文

页码: 1-4

在线出版日期: 2009-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）