微米、纳米尺度测量环境的温度测量和控制技术

摘要：

真空法和空调法是精密测量环境温度高稳定度和均匀度的主要构建方法。讨论了多热源温场控制的解耦问题,考虑到空气温度控制模型的复杂性和非精确性,依靠先验知识的不完全解耦方法仍将在工程应用中居于主流地位。高精度温度测量一般依赖于测量精度高的铂电阻等温度传感器完成,但自然对流条件下的空气流动性差,应考虑热电阻工作中的自热现象。热电偶和石英温度传感器可能是该条件下温度测量的一种可考虑的选择。

关键词： 纳米尺度 温度测量 温度控制 真空法 空调法

作者: 李洪波 高思田 崔建军 丁健

作者单位: 北京理工大学光电学院,北京 100081 北京理工大学光电学院,北京 100081 中国计量科学研究院,北京 100013 中国计量科学研究院,北京 100013

会议类型: 国内会议

会议名称: 2009年全国几何量精密测量技术学术交流会

会议地点: 杭州

会议语种:中文

页码: 32-37

在线出版日期: 2009-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）