激光二坐标测量装置显微视觉关键技术的研究

摘要：

为满足二维线纹标准器高精度检测需求,研究了激光二坐标测量装置的显微视觉系统关键技术。分析了激光二坐标测苗装置的工作原理和显微视觉硬件系统的构成,提出了一种基于方向链码的边缘特征点跟踪提取算法,实现了图像边缘快速精确提取,建立了两坐标系间的修正模型,提高了测量精度。实验验证二维线纹标准器线间距和线宽测量重复性的2倍标准差小于10 nm。

关键词： 激光二坐标测量装置 显微视觉 二维线纹标准器 方向链 边缘特征点 跟踪提取算法

作者: 孙双花 薛梓 叶孝佑 高宏堂

作者单位: 中国计量科学研究院,北京 100013

会议类型: 国内会议

会议名称: 2009年全国几何量精密测量技术学术交流会

会议地点: 杭州

会议语种:中文

页码: 42-46

在线出版日期: 2009-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）