移相干涉技术在活塞外径测量中应用

摘要：

基于传统接触式测长仪器存在不足,通过对长度干涉仪测量原理方法的分析研究,提出采用移相干涉技术进行瞄准定位的方法,并应用在活塞外径测量系统中。通过实验验证:采用双移相干涉测头结构的活寨外径测量系统,对活塞表面瞄准定位的重复性较好,活塞外径系统测量不确定度达到0.1μm,移相干涉在高精度基准活塞外径测量中成功应用,具有较好的推广价值。

关键词： 移相干涉仪 活塞外径测量 测长仪器 瞄准定位 不确定度

作者: 朱小平 王蔚晨 杜华

作者单位: 中国计量科学研究院,北京 100013

会议类型: 国内会议

会议名称: 2009年全国几何量精密测量技术学术交流会

会议地点: 杭州

会议语种:中文

页码: 79-82

在线出版日期: 2009-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）