微孔光纤测头的研制及应用
基于微孔测量中测头不能做得足够小的技术难题,文中提出采用标准多模通信光纤,按特定的工艺技术方法烧熔光纤测球,再进行封装制成测头,应用在微孔测量中。重点介绍了这种测头的技术参数和成形方法、原理。并对研制的φ0.1mm光纤测头几何形貌进行实际测量,应用于φ0.6mm小孔孔径的测量分析,标准偏差不超过0.5μm,取得了很好应用效果。
光纤测头 直径测量 微孔测量
朱小平 杜华 王蔚晨
中国计量科学研究院,北京 100013
国内会议
杭州
中文
115-119
2009-11-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)