计量型原子力显微镜环境温度的测控

摘要：

在纳米结构的检测与表征领域中,温度是影响纳米尺度测量精度的重要误差源。为此,根据测量材料的热物性和空气折射率与光学测量的关系,以计量型原子力显微镜和大范围纳米测量机为例,首先通过设计高精度多点测温系统进行精密的温度测量,分析估计在扫描测量纳米结构过程中温度变化对其测量结果的影响。其次对纳米测量中温度测量的相关技术问题进行了研究,以保证纳米表征和检测在纳米尺度及其量值上的准确性。

关键词： 温度测量 原子力显微镜 纳米测量机 测量不确定度 纳米结构

作者: 崔建军 高思田 邵宏伟 杜华 卢明臻 施玉书 李洪波 皮磊

作者单位: 中国计量科学研究院,北京 100013 北京理工大学信息技术学院,北京 100081

会议类型: 国内会议

会议名称: 2009年全国几何量精密测量技术学术交流会

会议地点: 杭州

会议语种:中文

页码: 123-127

在线出版日期: 2009-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）