标准硅片厚度测量装置的研制
利用电感测微仪的高分辨率和红宝石工作台的高灵敏度,在对传感器进行非线性修正的基础上,提出了垂直于标准硅片表面方向的点对点测量方法,研制了标准硅片厚度测量装置。整套装置适用于直径不大于305 mm标准硅片的厚度校准,对不同的直径和厚度的标准硅片,测量不确定度达到0.2μm。通过对不同厚度的标准硅片进行测量和比对,验证了装置的测量不确定度,具有结构紧凑、操作简便、准确度高、可靠性好的特点,实现了标准硅片厚度的量值溯源。
标准硅片 厚度测量 点对点测量 非线性补偿 电感测微仪 传感器
傅云霞 曾燕华 祝逸庆
上海市计量测试技术研究院,上海 201203
国内会议
杭州
中文
157-159
2009-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）