步距规校准装置

摘要：

利用坐标测量机和激光干涉仪的信号合成技术,构成步距规校准装置,实现多示值标准器的高精度校准。介绍了仪器的构成、原理、软件框图等,并进行了详细的不确定度分析。

关键词： 校准装置 步距规 坐标测量机 激光干涉仪

作者: 王为农 裴丽梅 任国营 夏阳

作者单位: 中国计量科学研究院,北京 100013 北京市计量检测科学研究院,北京 100029

会议类型: 国内会议

会议名称: 2009年全国几何量精密测量技术学术交流会

会议地点: 杭州

会议语种:中文

页码: 160-163

在线出版日期: 2009-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）