基于磨擦传动技术的大长度自动控制测量标准装置
利用磨擦轮、步进电机、无线数据通讯技术和激光干涉测量系统,实现无线自动伺服控制、环境参数自动采集的无线自动控制的大长度标准测量装置,装置的移动测量平台导轨上的运行速度不低于300mm/s,快速定位标准偏差优于±20μm,实现自动精确定位,自动测量。
磨擦轮传动 标准干涉测量系统 自动测量 激光干涉 伺服控制
李建双 赵岩
中国计量科学研究院,北京 100013
国内会议
杭州
中文
182-185
2009-11-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)