微米、纳米颗粒国家标准测量装置的研究

摘要：

研究的目标是建立一套可溯源至激光波长的微米、纳米颗粒国家标准测量装置,它用扫描电子显微镜高倍数放大、对准和定位颗粒影像,采用纳米位移扫描工作台和激光干涉仪测量微米、纳米量级的标准颗粒直径,其测量标准不确定度可优于5 nm+5×10-3D。通过文中测量认证的标准颗粒校准各类不同原理和测量范围的颗粒测量仪器,达到各型颗粒测量仪器的量值准确和统一,并溯源至激光光波波长。

关键词： 纳米颗粒 扫描电子显微镜 激光干涉仪 纳米位移扫描工作台 测量不确定度

作者: 邵宏伟 张恒 陈荣华 崔建军 来展

作者单位: 中国计量科学研究院,北京 100013 深圳市纳微有限公司,广东 深圳 518057

会议类型: 国内会议

会议名称: 2009年全国几何量精密测量技术学术交流会

会议地点: 杭州

会议语种:中文

页码: 186-188

在线出版日期: 2009-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）