接触式定位控制传感器的研究

摘要：

介绍了一种高精度接触式电感定位传感器,它集光机电技术于一体。传感器测头接触到被测表面后,当接触测量力达到设定值时,测头发出准确的定位信号。对传感器进行了定位重复性测量,其3倍标准偏差＜5nm。

关键词： 接触测量 干涉仪 接触式定位传感器 标准偏差

作者: 张旭东 刘香斌 叶孝佑 王家立

作者单位: 中国计量科学研究院,北京 100013

会议类型: 国内会议

会议名称: 2009年全国几何量精密测量技术学术交流会

会议地点: 杭州

会议语种:中文

页码: 189-191

在线出版日期: 2009-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）