力电耦合下MEMS微梁变形行为的结构参数影响研究

摘要：

MEMS和其它微系统产品中许多致动器利用静电力作为驱动力.在许多微型电动机和致动器的设计中,分析静电力作用下微梁结构参数如悬臂梁的厚度对微梁挠度的影响是必要的.基于物理环境法顺序耦合法来分析悬臂梁的力电耦合,运用ANSYS软件对微悬臂梁模型进行机电耦合分析,讨论了在其他结构参数不变的情况下,微梁厚度与最大变形量的变化关系,并通过拟合曲线进一步探讨了微梁厚度对结构驱动性能的影响.

关键词： 微悬臂梁 力电耦合 变形行为 结构参数 ANSYS软件

作者: 陈美琴

作者单位: 福建农林大学机电工程学院,福建,福州,350002

会议类型: 国内会议

会议名称: 福建省科协第九届学术年会、2009年福建省机械工程学会学术年会

会议地点: 福州

会议语种:中文

页码: 67-70

在线出版日期: 2009-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）