硅谐振式压力传感器静态特性测试

摘要：

讨论了一种硅谐振式压力传感器静态特性测试。该传感器采用复合敏感结构,以方形膜片为直接感压元件,谐振梁为谐振敏感元件,采用硅微机械加工工艺制作而成;针对其拾振信号特点,设计了基于锁定放大原理的闭环系统,保证传感器工作时的谐振状态。对真空封装后的2只传感器进行了静态特性测试,比较实验结畏可知机械品质因数(Q值)较高的传感器的重复性和综合误差明显优于Q值较低的传感器。

关键词： 谐振式压力传感器 硅微机械 闭环系统 静态特性 测试实验

作者: 汤章阳 樊尚春 蔡晨光

作者单位: 北京航空航天大学 仪器科学与光电工程学院,北京 100083

会议类型: 国内会议

会议名称: 2009年全国压力计量测试技术交流年会

会议地点: 扬州

会议语种:中文

页码: 3-4,13

在线出版日期: 2009-09-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）