扩散硅压阻式传感器温度漂移性能及补偿算法研究

摘要：

介绍了影响扩散硅压力传感器性能的主要因素——零点漂移和灵敏度漂移,详细介绍了零点漂移和灵敏度漂移的两种补偿方法,并通过试验验证了两种补偿方法。

关键词： 扩散硅压力传感器 温度漂移性能 试验验正 补偿算法

作者: 王丽 彭轶 赵静 李开

作者单位: 中航工业北京长城计量测试技术研究所,北京 100095

会议类型: 国内会议

会议名称: 2009年全国压力计量测试技术交流年会

会议地点: 扬州

会议语种:中文

页码: 11-13

在线出版日期: 2009-09-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）