微型及超微型压力传感器的开发

摘要：

介绍了外径为φ2mm的超微型压力传感器芯片设计与结构封装。该微型传感器已成功用于空气动力学试验及生物医学,在高精度的流体动力学测试中,如风洞测试系统中,要求传感器不仅具有良好的动态特性,而且为了减少对测量流场的影响,提高测量的精度,对传感器的尺寸要求更加小型化。

关键词： 超微型压力传感器 原位测量 微电子机械技术 芯片设计 结构封装 动态特性

作者: 王冰 尤彩红 王文襄

作者单位: 昆山双桥传感器测控技术有限公司,江苏 昆山 215325

会议类型: 国内会议

会议名称: 2009年全国压力计量测试技术交流年会

会议地点: 扬州

会议语种:中文

页码: 29-30

在线出版日期: 2009-09-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）