微型及超微型压力传感器的开发
介绍了外径为φ2mm的超微型压力传感器芯片设计与结构封装。该微型传感器已成功用于空气动力学试验及生物医学,在高精度的流体动力学测试中,如风洞测试系统中,要求传感器不仅具有良好的动态特性,而且为了减少对测量流场的影响,提高测量的精度,对传感器的尺寸要求更加小型化。
超微型压力传感器 原位测量 微电子机械技术 芯片设计 结构封装 动态特性
王冰 尤彩红 王文襄
昆山双桥传感器测控技术有限公司,江苏 昆山 215325
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2009-09-20(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)