压阻式高频动态高压传感器设计

摘要：

阐述了压阻式高频动态压力传感器的设计与开发。用MEMS技术设计的周边固支圆平膜片微型敏感元件具有高达数百千赫兹的固有频率,刚性键合及低桥阻确保了亚微秒级的上升时间,背面承压的平面结构及无管腔齐平封装设计是高频响特性实现的关键。

关键词： 高频动态 压力传感器 MEMS技术 封装设计 固有频率 高频响特性

作者: 尤彩红 王冰 庄家局 王文襄

作者单位: 昆山双桥传感器测控技术有限公司,江苏 昆山 215325

会议类型: 国内会议

会议名称: 2009年全国压力计量测试技术交流年会

会议地点: 扬州

会议语种:中文

页码: 44-45

在线出版日期: 2009-09-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）