利用CCD接收激光衍射的方法测量精密缝宽和圆孔直径

摘要：

用CCD摄像头与图像数据采集系统进行尺寸测量是CCD应用最广泛的领域.本文将通过探究He-Ne激光器对待测物件的衍射形成光斑的原理出发,研究CCD对光斑的接受和处理,最终识别需要的衍射条纹,从而测得精密仪器中的缝宽和精密的圆孔直径。

关键词： CCD摄像头 图像数据采集 He-Ne激光器 激光衍射 精密缝宽 精密圆孔直径

作者: 杨飒

作者单位: 天津大学精密仪器与光电子工程学院,天津300072

会议类型: 国内会议

会议名称: 河北省自动化学会 河北省CAD研究会 河北省电子学会 河北省计算机学会 河北省人工智能学会 河北省软件与信息服务业协会2009年联合学术年会

会议地点: 石家庄

会议语种:中文

页码: 13-15

在线出版日期: 2009-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）