离轴非球面补偿器比对检验

摘要：

非球面反射镜的面形参数直接影响着光学系统的成像质量。为了更加精确地控制非球面反射镜的面形参数，采用会聚光、平行光两套不同非球面补偿器去加工和比对检验同一块离轴非球面反射镜。通过严格控制非球面补偿器的各个技术参数和加工过程可保证各个尺寸链的准确性，非球面反射镜最终的加工面形误差PV值可达到λ/7，两套补偿器比对检验出的面形误差分布与检测结果一致。结果表明，利用两套不同手段检验同一非球面反射镜来严格控制非球面参数的方法是切实可行的。

关键词： 非球面反射镜 面形参数 非球面补偿器 误差分布

作者: 吴令奇 王鹏 王宪民 付东明 裴云天

作者单位: 上海技术物理研究所，上海 200083

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国兵工学会2009年光学与光电技术交流会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 33-34,37

在线出版日期: 2009-08-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）