光波导制备的研究进展

摘要：

介绍了几种光波导的制备方法，并回顾了近年来国内外光波导制备方法的研究进展。与传统光波导制备方法相比，MeV离子注入和飞秒激光刻写光波导具有明显的优势，可以直接制成所需形状的三维光波导，是近几年光波导制备方法中的研究热点。

关键词： 光波导 制备方法 MeV离子注入 飞秒激光刻写

作者: 张峰 肖志松 燕路 朱放 周博 黄安平

作者单位: 北京航空航天大学理学院物理系，北京 100191

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国兵工学会2009年光学与光电技术交流会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 114-117,120

在线出版日期: 2009-08-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）