用于微纳米性能测试的AFM系统
研制了用于光信息综合实验的微纳米性能测试的新型原子力显微镜(AFM)系统。该系统采用卧式AFM探头设计，使原子力作用方向与重力方向垂直而互不干扰。既降低了探头的整体重心，又克服了原有粗调与微调进样机构的垂直蠕动。采用互相正交的三轴压电陶瓷扫描控制器，保证了扫描图像不因耦合而失真。开发了功能强大、界面友好的扫描控制与图像处理软件系统，采用优化的微纳米扫描检测与反馈控制电路系统.配以多路高精度A/D和D/A控制接口，获得了扫描分辨率高、重复性好的图像质量。利用该系统对正在研制的一些纳米样品进行了微纳米性能测试实验，获得了优良的实验结果。实验的开设加深了学生对纳米技术的理解，达到了良好的教学目的。
微纳米技术 性能测试 原子力显微镜系统 实验教学
张冬仙 蒋凌颖 林远芳 郑臻荣 郑晓东 李海峰
浙江大学 光电系 现代光学仪器国家重点实验室，杭州 310027
国内会议
北京
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207-210
2009-08-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）