半导体生产线仿真系统的研究与设计

摘要：

面向半导体生产线中各加工区产能预测以及系统和设备性能优化的需求,基于Em-Plant仿真软件和vs.net平台开发实现了半导体生产线仿真系统。该系统由用户层、模型层和数据层三大部分构成,通过运行该系统,可以提供给用户未来一段时间内的加工区产能预测,为控制与调度决策提供依据。目前,该系统已经在实际半导体生产线上得到运用。

关键词： 半导体生产线 仿真系统 调度决策 产能预测

作者: 郭璎霄 乔非 李莉

作者单位: 同济大学 CIMS研究中心,上海 201804

会议类型: 国内会议

会议名称: 2009全国仿真技术学术会议

会议地点: 九江

会议语种:中文

页码: 355-358

在线出版日期: 2009-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）