材料微米和纳米尺度的无损评估

摘要：

随着现代材料科学，纳米技术，微电子技术，MEMS和NEMS技术的迅速发展，以及新型研发和应用的不断深入，迫切需要进一步了解材料的微区(微米-纳米尺度上)的结构和性能，微区再结晶、Kirkendall空穴等新的缺陷和损伤的形成机理，以确保微系统和材料的安全可靠。本文介绍了扫描电子声显微镜(SEAM)和扫描探针显微镜(SPM)等材料微米和纳米尺度的无损评估的技术。

关键词： 纳米尺度 电子声显微镜 材料微米 无损评估

作者: 钱梦騄 赵亚军 程茜

作者单位: 同济大学声学研究所 上海 200092

会议类型: 国内会议

会议名称: 2009年上海-西安声学学会学术交流会

会议地点: 西安

会议语种:中文

页码: 1-3

在线出版日期: 2009-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）