SEAM上下表面检测成像系统的实现及实验结果初探

摘要：

本文基于本实验室已建立的扫描电子声显微镜系统，通过增加耦合在材料表面的PZT检测电子声效应在试样表面激发的应变场，验证了SEAM上表面接收电子声信号的可行性，并得到了一定的实验结果。

关键词： 表面检测 成像系统 材料表面 电子声效应 表面激发

作者: 张迪 钱梦騄

作者单位: 同济大学声学研究所,上海 200092

会议类型: 国内会议

会议名称: 2009年上海-西安声学学会学术交流会

会议地点: 西安

会议语种:中文

页码: 14-16

在线出版日期: 2009-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）