虚拟仪器技术在真空传递标准中的应用

摘要：

磁悬浮转子规和电容薄膜规被用作真空标准之间国际比对的传递标准。为了减小由于人工操作和读数等引起的测量不确定度,利用虚拟仪器技术开发了磁悬浮转子规和电容薄膜规的数据采集与控制系统,并将其应用于分压力质谱计校准之中,实现了四极质谱计的精确校准。

关键词： 虚拟仪器 数据采集 磁悬浮转子规 电容薄膜规 分压力质谱计 精确校准 真空传递标准

作者: 成永军 李得天

作者单位: 兰州空间技术物理研究所,兰州 730000

会议类型: 国内会议

会议名称: 第三届全国虚拟仪器学术交流大会

会议地点: 桂林

会议语种:中文

页码: 138-140

在线出版日期: 2009-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）