硅压阻式压力传感器可靠性强化试验及失效分析

摘要：

通过对一种特定结构的硅压力传感器进行动态应力寿命试验,探讨了硅压阻式压力传感器的可靠性强化试验方法。研究了它在低温、电压共同作用下的失效机理。针对硅压阻式压力传感器零位温度漂移提出失效判据。对失效样品进行了解剖分析,提出了相应的改进措施。

关键词： 硅压力传感器 可靠性试验 动态应力寿命 温度漂移 失效判据

作者: 孟召丽 秦丽 吴永亮

作者单位: 电子测试技术国家重点实验室 太原 030051 中北大学 电子科学与技术系 太原 030051

会议类型: 国内会议

会议名称: 第三届全国虚拟仪器学术交流大会

会议地点: 桂林

会议语种:中文

页码: 124-126

在线出版日期: 2009-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）