一种基于PSD的精密平面测量方法
介绍了一种可用于精密平面测量的新方法,以柱面透镜产生的激光平面作为基准平面,凭借激光平面的稳定性进行系统的精密测量。先利用激光平面产生系统将点光源变成线光源,即把线状光束变成光平面,位置敏感元件PSD安装在被测平面的测量靶上。测量靶一边移动,PSD一边拾取激光平面信号,经放大滤波、A/D转换、单片机(MCU)数据处理后,将结果输送到显示屏(LED)。通过实验测试表明,整个系统的不确定度优于3μm,系统的分辩力在1gm以内,测量范围目前4m以内。稳定性良好,可用于精密测量领域中的平面测最。
精密平面测量 激光平面 位置敏感元件 不确定度
胡长德 钱征宇 齐永岳 李艳霞
装备指挥技术学院士官系 北京 102200 江苏省计量科学研究院 南京 210007 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室 天津 300072
国内会议
桂林
中文
282-286
2009-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）