EB-PVD工艺制备SiC/ZrO2涂层的微观组织结构研究

摘要：

本文利用EB-PVD工艺在高温合金表面制备SiC/ZrO2防热涂层,对制备态和不同温度晶化处理后的涂层进行了微观组织结构分析。结果表明,随退火温度升高,SiC结晶程度提高,Ramam光谱出现了SiC的TO带和LO带;SiC层中分散的sp2杂化碳团簇产生了急剧的聚集,形成了大的团簇结构。退火处理后SiC表层发生钝性氧化,涂层表面C元素含量大幅度减少,而O元素含量迅速增加;XPS Cls和Si2p谱峰的中心向高结合能方向发生了偏移;表层中C-C键的含量减少,Si-O键的含量逐渐增加。

关键词： 防热涂层 电子束 气相沉积 微观组织 碳化硅 高温合金

作者: 赵轶杰 马李 赫晓东

作者单位: 哈尔滨工业大学 复合材料与结构研究所,哈尔滨 150080 台州学院 物理与电子工程学院,浙江 台州 318000

会议类型: 国内会议

会议名称: SAMPE CHINA 2009暨中国国际先进材料与工艺技术学术研讨会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 4-8,14

在线出版日期: 2009-10-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）