硅微电容式超声换能器谐振频率的有限元分析

摘要：

本文运用有限元方法计算了硅微电容式超声换能器(cMUT)的谐振频率,并考虑了实际换能器振动膜制各有电极薄膜的情况,分别计算了具有不同厚度的金电极和铝电极的振动膜的谐振频率,分析了电极对于谐振频率的影响,对cMUT的设计有一定的辅助意义。

关键词： 硅微电容式 超声换能器 谐振频率 有限元方法 振动膜

作者: 郝震宏 汤亮 乔东海

作者单位: 中国科学院声学研究所,北京 100190

会议类型: 国内会议

会议名称: 2009年中国西部地区声学学术交流会

会议地点: 西双版纳

会议语种:中文

页码: 133-134

在线出版日期: 2009-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）