纳米力学测量系统的校准与测试

摘要：

纳米压痕技术广泛用于材料力学性能的评估与测试，利用压痕的加卸载曲线可分析得到材料的硬度和折合模量等力学参数。对大多数测量系统而言，校准过程对于提升测量小确定度，实现仪器的可重复测量是十分重要的。文章主要介绍了如何使用熔融石英去校准针尖的面积函数。然后使用在熔融石英上标定的面积函数去测量其他材料的力学特征，分析得出，统一的面积函数在小压痕深度也许会带来较大的误差。

关键词： 纳米力学测量系统 纳米压痕 材料力学性能 材料硬度 折合模量 面积函数

作者: 魏小林 高思田 杜华 卢明臻 施玉书

作者单位: 合肥工业大学,合肥 230009 中国计量科学研究院,北京 100013 中国计量科学研究院,北京 100013

会议类型: 国内会议

会议名称: 2009中国仪器仪表与测控技术大会

会议地点: 哈尔滨

会议语种:中文

页码: 53-57

在线出版日期: 2009-07-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）